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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 纳米薄膜厚度的测量
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spgz

新虫 (小有名气)

[求助] 纳米薄膜厚度的测量 已有1人参与

我现在有大概60nm厚的单晶Fe3O4薄膜，想要用AFM测厚度，可是由于不会做台阶，无法测，我想请教一下怎么做台阶啊？用磁控溅射的方法制备的。

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1楼 2016-10-07 12:51:43
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love06

捐助贵宾 (正式写手)
压片

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

spgz
2楼2016-10-08 07:49:06
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spgz

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by love06 at 2016-10-08 07:49:06
压片

请问压片是什么意思呢？
是说，在镀膜前先放一小块东西上去，然后镀完膜再取下来，AFM扫台阶吗？

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3楼2016-10-08 11:37:02
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love06

捐助贵宾 (正式写手)
可以用光刻的办法

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4楼2016-10-09 15:29:22
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by spgz at 2016-10-08 11:37:02
请问压片是什么意思呢？
是说，在镀膜前先放一小块东西上去，然后镀完膜再取下来，AFM扫台阶吗？
...

是

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5楼2016-10-09 16:53:27
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lqm070

铁杆木虫 (著名写手)
也可以用酸腐蚀边

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6楼2016-10-09 16:54:30
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晴er123

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
spgz: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-10-10 12:25:53
磁控之前贴上耐热胶带，测试时撕下来，做AFM 或台阶都可以。再不行也可以用轮廓仪测厚度的
赞一下(3人) 回复此楼
一个人最大的破产是绝望，最大的资产是希望
7楼2016-10-10 10:49:26
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我要得蛀牙

新虫 (初入文坛)
您这是用的反应溅射做的吗？
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8楼2016-10-27 10:09:35
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spgz

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 我要得蛀牙 at 2016-10-27 10:09:35
您这是用的反应溅射做的吗？

不是，磁控溅射。

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9楼2016-10-27 13:42:31
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spgz

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by spgz at 2016-10-27 13:42:31
不是，磁控溅射。
...

没有反应。

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10楼2016-10-27 13:42:58
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