| 查看: 469 | 回复: 1 | ||
[求助]
制备fluidFM tip 遇到的问题
|
|
本虫宝宝最近在做fluidFM tip的制备。利用TMAH腐蚀polysilicon scarifical layer来获取microfulid channel.可是在腐蚀之后的清洁和干燥的过程，一直遇到了纳米孔堵塞的问题。如下图所示，有相关领域的大神给点意见吗？ 已经尝试了改变腐蚀的温度。 添加IPA，可是效果都不明显。求大神指教. 图一为正常成功制备的图片。图二是有堵塞的图片 The probe is fabricated by the surface micromachining using a sacrificial polysilicon technique. In this technique a sacrificial polysilicon layer, enclosed by the silicon nitride walls, is removed by wet chemical etching in alkaline solution (TMAH) to obtain a microfluidic channel. It is of paramount importance to clean the wafer properly after the sacrificial etching in order to remove any residue from the microchannel in order to prevent clogging of the nanoscale aperture. Any suggestions  fluid tip.png |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有56人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
lcycomcn
铁杆木虫 (著名写手)
千年虫
- 应助: 7 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 4000.9
- 散金: 1638
- 红花: 2
- 帖子: 1659
- 在线: 326.4小时
- 虫号: 507395
- 注册: 2008-02-19
- 性别: GG
- 专业: 生化分析及生物传感
2楼2016-10-05 13:55:41
