| 查看: 460 | 回复: 1 | ||
[求助]
制备fluidFM tip 遇到的问题
|
|
本虫宝宝最近在做fluidFM tip的制备。利用TMAH腐蚀polysilicon scarifical layer来获取microfulid channel.可是在腐蚀之后的清洁和干燥的过程，一直遇到了纳米孔堵塞的问题。如下图所示，有相关领域的大神给点意见吗？ 已经尝试了改变腐蚀的温度。 添加IPA，可是效果都不明显。求大神指教. 图一为正常成功制备的图片。图二是有堵塞的图片 The probe is fabricated by the surface micromachining using a sacrificial polysilicon technique. In this technique a sacrificial polysilicon layer, enclosed by the silicon nitride walls, is removed by wet chemical etching in alkaline solution (TMAH) to obtain a microfluidic channel. It is of paramount importance to clean the wafer properly after the sacrificial etching in order to remove any residue from the microchannel in order to prevent clogging of the nanoscale aperture. Any suggestions  fluid tip.png |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有194人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
lcycomcn
铁杆木虫 (著名写手)
千年虫
- 应助: 7 (幼儿园)
- 贵宾: 0.01
- 金币: 4000.9
- 散金: 1638
- 红花: 2
- 帖子: 1659
- 在线: 326.4小时
- 虫号: 507395
- 注册: 2008-02-19
- 性别: GG
- 专业: 生化分析及生物传感
2楼2016-10-05 13:55:41