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制备fluidFM tip 遇到的问题
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本虫宝宝最近在做fluidFM tip的制备。利用TMAH腐蚀polysilicon scarifical layer来获取microfulid channel.可是在腐蚀之后的清洁和干燥的过程，一直遇到了纳米孔堵塞的问题。如下图所示，有相关领域的大神给点意见吗？ 已经尝试了改变腐蚀的温度。 添加IPA，可是效果都不明显。求大神指教. 图一为正常成功制备的图片。图二是有堵塞的图片 The probe is fabricated by the surface micromachining using a sacrificial polysilicon technique. In this technique a sacrificial polysilicon layer, enclosed by the silicon nitride walls, is removed by wet chemical etching in alkaline solution (TMAH) to obtain a microfluidic channel. It is of paramount importance to clean the wafer properly after the sacrificial etching in order to remove any residue from the microchannel in order to prevent clogging of the nanoscale aperture. Any suggestions  fluid tip.png |
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