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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在聚合物上镀金属薄膜，该买哪种镀膜机？
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ydeng2639

木虫 (小有名气)

半导体纳米材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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carefu: 金币+5, ★有帮助 2016-10-13 17:04:06
sputer镀聚合物衬底，由于能等离子体能量过强，很容易使聚合物卷边，要是做一个小型的电子束蒸镀，在配一个阻蒸。价格也比磁控要便宜，国产的现在大面积的设备性能都可以，别说小的了，40w加一个离子源也是够够的。
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不做专家对不起自己
11楼2016-09-29 16:34:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
8楼: Originally posted by carefu at 2016-09-29 08:21:25
我在网上搜了一下，发现沈阳有好多做这个的，联系差不多有十家，报价基本都在29-33万。如果本地有，就不太想买外地的，坏了修起来不方便，国产的东西又容易坏~~...

最后那句是真的 容易坏 容易坏
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12楼2016-09-30 09:16:32
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by carefu at 2016-09-29 08:21:25
我在网上搜了一下，发现沈阳有好多做这个的，联系差不多有十家，报价基本都在29-33万。如果本地有，就不太想买外地的，坏了修起来不方便，国产的东西又容易坏~~...

我们这边定做的4靶材的，40+了都，看你要求了，多提点就好了，可以加上直流交流
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13楼2016-09-30 09:17:17
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mrwu888

金虫 (小有名气)
北京金盛微纳

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大智若愚宠辱不惊是为高，大爱于心福泽天下是为富，大略宏才智勇双全是为帅！
14楼2016-09-30 11:56:45
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kafeitu

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2016-09-29 15:44:00
肯定是磁控溅射，沈阳的可以，成都南光，中科院微电子所。都可以选择。40万可以让对方按你的要求加配置，比如泵啊，射频源啊，可以选进口的。
话说，你们做完金属化，不做光刻吗？柔性衬底的光刻胶涂敷用的喷胶机没 ...

可以在柔性衬底上直接光刻？

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15楼2016-11-20 23:53:21
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