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陈宋郊

新虫 (小有名气)

[交流] PMMA

现在做的工作需要把超薄的AAO转移到硅片上面,请问这个对PMMA有什么要求?PMMA溶液怎么配置?

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yswyx

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引用回帖:
6楼: Originally posted by 陈宋郊 at 2016-09-27 12:28:43
这种溶液的配置上有什么要求?
...

对你们的工艺需求不了解。我们都是用临时键合的膜把AAO粘到硅片上去,再对AAO膜做加工的。但这个膜不是PMMA。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

7楼2016-09-29 14:59:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
陈宋郊: 金币+2 2016-09-27 12:29:43
我们管这工艺叫thin wafer handling。里面牵扯到很多关于涂敷,键合之类的工艺。
你这个PMMA是用来做键合用的吗?
2楼2016-09-27 10:51:01
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幸运二十二

新虫 (初入文坛)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
陈宋郊: 金币+2 2016-09-27 12:29:55
DMF好像可以。我之前记录过三种不同溶剂配置PMMA的方法

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3楼2016-09-27 10:51:16
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陈宋郊

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 幸运二十二 at 2016-09-27 10:51:16
DMF好像可以。我之前记录过三种不同溶剂配置PMMA的方法

那三种,可以介绍一下吧!

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4楼2016-09-27 12:27:01
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