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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » PMMA
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陈宋郊

新虫 (小有名气)

[交流] PMMA

现在做的工作需要把超薄的AAO转移到硅片上面，请问这个对PMMA有什么要求？PMMA溶液怎么配置？

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1楼 2016-09-26 20:11:54
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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陈宋郊: 金币+2 2016-09-27 12:29:43
我们管这工艺叫thin wafer handling。里面牵扯到很多关于涂敷，键合之类的工艺。
你这个PMMA是用来做键合用的吗？
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2楼2016-09-27 10:51:01
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幸运二十二

新虫 (初入文坛)
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陈宋郊: 金币+2 2016-09-27 12:29:55
DMF好像可以。我之前记录过三种不同溶剂配置PMMA的方法

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3楼2016-09-27 10:51:16
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陈宋郊

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 幸运二十二 at 2016-09-27 10:51:16
DMF好像可以。我之前记录过三种不同溶剂配置PMMA的方法

那三种，可以介绍一下吧！

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4楼2016-09-27 12:27:01
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陈宋郊

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-09-27 10:51:01
我们管这工艺叫thin wafer handling。里面牵扯到很多关于涂敷，键合之类的工艺。
你这个PMMA是用来做键合用的吗？

不是，用来转移膜的。

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5楼2016-09-27 12:27:26
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陈宋郊

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2016-09-27 10:51:01
我们管这工艺叫thin wafer handling。里面牵扯到很多关于涂敷，键合之类的工艺。
你这个PMMA是用来做键合用的吗？

这种溶液的配置上有什么要求？

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6楼2016-09-27 12:28:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
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6楼: Originally posted by 陈宋郊 at 2016-09-27 12:28:43
这种溶液的配置上有什么要求？
...

对你们的工艺需求不了解。我们都是用临时键合的膜把AAO粘到硅片上去，再对AAO膜做加工的。但这个膜不是PMMA。
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Andy M
7楼2016-09-29 14:59:20
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Andy M

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8楼2018-01-09 15:55:36
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Andy M

禁虫 (正式写手)
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9楼2018-01-09 16:46:13
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