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微晶硅形貌表征 已有1人参与
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| 2mm后的硅片,红外探伤显示有阴影,可能是微晶,可以用SEM观察它的形貌吗?如果要腐蚀,用什么酸液腐蚀。 |
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kangye_1989
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吴小元