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小姚明1993

新虫 (初入文坛)

[求助] 怎么腐蚀一氧化硅? 已有1人参与

最近在做用ICP技术在LED上刻蚀纳米柱,用的掩膜板是一氧化硅(SiO)而不是二氧化硅(SiO2),二氧化硅用BOE可以腐蚀掉,一氧化硅听说也可以,不过应该怎么样配比啊?或者还有没有其他的腐蚀液?
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一人一壶一殇一醉一休
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小姚明1993

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yuan999 at 2016-09-08 17:29:27
强酸应该可以,比如HF酸,使用时注意安全。

需要加氟化铵配成BOE溶液吗?
一人一壶一殇一醉一休
5楼2016-09-13 11:33:42
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划过天空

新虫 (小有名气)

2楼2016-09-05 17:03:40
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划过天空

新虫 (小有名气)

3楼2016-09-05 17:04:24
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

强酸应该可以,比如HF酸,使用时注意安全。
我~心~依~旧
4楼2016-09-08 17:29:27
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