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怎么腐蚀一氧化硅？ 已有1人参与
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| 最近在做用ICP技术在LED上刻蚀纳米柱，用的掩膜板是一氧化硅（SiO）而不是二氧化硅（SiO2），二氧化硅用BOE可以腐蚀掉，一氧化硅听说也可以，不过应该怎么样配比啊？或者还有没有其他的腐蚀液？ |
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