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kissren

银虫 (初入文坛)

[求助] 氮化硅薄膜与氧化硅有较好的接触需多少温度退火已有2人参与

氮化硅薄膜与氧化硅有较好的接触需多少温度退火
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kissren

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by kangye_1989 at 2016-08-29 12:40:37
你的生长温度是多少,比生长温度低一些就可以吧

是用电子束室温做的
4楼2016-08-29 14:50:40
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

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你的生长温度是多少,比生长温度低一些就可以吧
2楼2016-08-29 12:40:37
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阿法埃莎无机

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
氮化硅和氧化硅应该不会有很好的结合,因为晶体结构类型不一样,晶胞常数差异,在界面会因应力造成晶格扭曲,形成很多结构缺陷
3楼2016-08-29 13:35:55
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