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liuyaxi

银虫 (小有名气)

[交流] 【请教】请问 FESEM 和 SEM 有什么不同?

如题,想请教大家,上面两种表征方法,原理有什么不同?
SEM 只能照出导电的物质吗?

[ Last edited by 大笨猪和聪明羊 on 2008-11-28 at 09:48 ]
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temedx

专家顾问 (著名写手)

★ ★ ★ ★
wdwsnnu(金币+2,VIP+0):3x,谢谢讨论
liuyaxi(金币+2,VIP+0):谢谢!
这个问题在小木虫里面应该有人问过,还不止一次。
FESEM就是用场发射枪的SEM,SEM则是统称。场发射枪比LaB6(CeB6)的电子束亮度强100倍,比钨灯丝高10000倍,是一个高性能的电子光源。由于它采用的技术能使电子束的束斑很细(最细甚至在0.5 nm以下),所以能有很高的分辨率(目前最高0.4 nm)。
喷金和喷碳是为了增加样品表面的导电性,但FESEM的样品最好不要喷金,甚至最好不要喷碳,为的是能看到最接近原始形貌的图片。由于有高亮度的特点,对于不导电的样品可以把电压降低,或者使用电子束减速模式等新技术,同样能得到质量很高的照片。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
4楼2008-11-18 15:29:32
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yanpenghua

金虫 (著名写手)

★ ★
caosw2001(金币+1,VIP+0):3x
liuyaxi(金币+1,VIP+0):谢谢!
区别就是发射电子的装置不一样,SEM使用灯丝,FESEM使用的场发射。。。
场发射能量高,电子束可以更细。前者适合低倍,后者适合高倍。

[ Last edited by yanpenghua on 2008-11-18 at 11:31 ]
2楼2008-11-18 11:29:34
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yuer63

木虫 (正式写手)


liuyaxi(金币+1,VIP+0):谢谢!
不导电的也可以测定,只要表面喷一层金就行.
3楼2008-11-18 13:10:32
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)

楼上的对电镜很了解阿! 谢谢了  我也学习了
5楼2008-11-18 21:02:08
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