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【请教】请问 FESEM 和 SEM 有什么不同？
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如题，想请教大家，上面两种表征方法，原理有什么不同？ SEM 只能照出导电的物质吗？ [ Last edited by 大笨猪和聪明羊 on 2008-11-28 at 09:48 ] |
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 测试、分析、表征方法 |
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yanpenghua
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这个问题在小木虫里面应该有人问过，还不止一次。 FESEM就是用场发射枪的SEM，SEM则是统称。场发射枪比LaB6（CeB6）的电子束亮度强100倍，比钨灯丝高10000倍，是一个高性能的电子光源。由于它采用的技术能使电子束的束斑很细（最细甚至在0.5 nm以下），所以能有很高的分辨率（目前最高0.4 nm)。 喷金和喷碳是为了增加样品表面的导电性，但FESEM的样品最好不要喷金，甚至最好不要喷碳，为的是能看到最接近原始形貌的图片。由于有高亮度的特点，对于不导电的样品可以把电压降低，或者使用电子束减速模式等新技术，同样能得到质量很高的照片。 |
4楼2008-11-18 15:29:32
chenjin
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