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adam_

铁虫 (小有名气)

[求助] 求问光刻胶产品图是怎么拍出来的 已有4人参与

如图,这种图片用SEM怎么拍,需要对样品进行特殊处理吗?

谢谢!

求问光刻胶产品图是怎么拍出来的
sem.png
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
28楼: Originally posted by adam_ at 2016-08-29 15:17:22
谢谢回复!

用显微镜拍2um很牛!,需要用100×的镜头了吧~

用显微镜看对样品的放置的角度苛刻吗...

我们一天到晚用光学显微镜来拍剖面,2um还好了,能看见,清晰度一般。100x的镜头很普通的,国产的现在做的不错,又便宜。
你可以自己买一台国产的,厦门motic或者宁波宇舜,两万多。他们分公司或者代理可以带机器上门的,你拿样品直接看就可以检测机器性能了。
30楼2016-08-29 17:25:05
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adam_

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 刺鸟疯了 at 2016-08-25 14:26:22
为什么要拍截面呢,少甩点胶不就行了…

看边壁是不是垂直,就得拍截面吧
5楼2016-08-25 15:45:37
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
20楼: Originally posted by 刺鸟疯了 at 2016-08-27 20:34:08
你猜我这是什么

...

随便你怎么说吧,我说的是针对他的那种齐整的截面结构,有设备轻松就截面了,双层胶如果你们很熟悉当然也无所谓!没有必要争论什么的,都是为了解决问题
21楼2016-08-27 21:36:11
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

有些电镜的样品台是可以倾斜角度的,可以做剖面的。
做光刻胶的电镜不一定需要喷金。
上海的话,交大有一个微纳加工的平台,肯定有。
24楼2016-08-29 10:28:43
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adam_

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
36楼: Originally posted by exciting73 at 2016-10-09 12:41:37
基片沿结构方向横切,用光学显微镜或电镜拍横切面。不需要特别处理

请问是看反射光吗?
37楼2016-10-23 14:17:29
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普通回帖

刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

2楼2016-08-25 14:10:14
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adam_

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 刺鸟疯了 at 2016-08-25 14:10:14
喷金就可以…

喷金我知道的

我不知道如果要把光刻结构的截面拍出来,一定要把截面磨出来吗
3楼2016-08-25 14:19:06
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

为什么要拍截面呢,少甩点胶不就行了…

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-08-25 14:26:22
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

侧壁是光刻出来的,不是拿小刀磨的,大胸弟

发自小木虫IOS客户端
6楼2016-08-25 16:08:22
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adam_

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 刺鸟疯了 at 2016-08-25 16:08:22
侧壁是光刻出来的,不是拿小刀磨的,大胸弟

谢谢回复

我看这张图的底部(红色框选部分),像是基底的截面诶。。
求问光刻胶产品图是怎么拍出来的-1
图片1.png

7楼2016-08-25 17:26:32
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

8楼2016-08-25 17:29:40
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刺鸟疯了

铁虫 (正式写手)

9楼2016-08-25 17:30:05
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adam_

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 刺鸟疯了 at 2016-08-25 17:30:05
那是做了两层,如上图

底下那层是什么呢?
10楼2016-08-25 17:31:19
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