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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求问光刻胶产品图是怎么拍出来的
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
20楼: Originally posted by 刺鸟疯了 at 2016-08-27 20:34:08
你猜我这是什么

...

随便你怎么说吧，我说的是针对他的那种齐整的截面结构，有设备轻松就截面了，双层胶如果你们很熟悉当然也无所谓！没有必要争论什么的，都是为了解决问题
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21楼2016-08-27 21:36:11
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hekai_1113

铜虫 (小有名气)
也是光刻胶

发自小木虫Android客户端
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你那么厉害，你咋不上天呢
22楼2016-08-29 00:27:07
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adam_

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by babyoflion at 2016-08-27 17:25:00
看了下上面的回复 很多误导的，楼主的理解是对的，这个就是做了截面，然后拍摄的有一定倾斜角度拍摄的，有专门做截面的设备，具体的名字我忘记了，我就做过的，截面这些我经常做的，不过都是我自己用显微镜随便拍拍

谢谢回复

请问你知道上海这边哪里有做截面和拍SEM的实验室吗？
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23楼2016-08-29 08:46:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

有些电镜的样品台是可以倾斜角度的，可以做剖面的。
做光刻胶的电镜不一定需要喷金。
上海的话，交大有一个微纳加工的平台，肯定有。
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24楼2016-08-29 10:28:43
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
23楼: Originally posted by adam_ at 2016-08-29 08:46:14
谢谢回复

请问你知道上海这边哪里有做截面和拍SEM的实验室吗？...

上海的话不是很清楚，不过苏州纳米所有，也不是很远，如果是刚性基地的话，自己手动做一个截面用显微镜也可以的，我这边2um的线条我都是自己掰开后用显微镜测试的，也可以作为借鉴的，当然发文章还是要SEM的
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25楼2016-08-29 12:42:12
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adam_

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by babyoflion at 2016-08-27 21:36:11
随便你怎么说吧，我说的是针对他的那种齐整的截面结构，有设备轻松就截面了，双层胶如果你们很熟悉当然也无所谓！没有必要争论什么的，都是为了解决问题...

是的，可能这两种办法都可行~

谢谢回复~
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26楼2016-08-29 15:12:35
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adam_

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
24楼: Originally posted by yswyx at 2016-08-29 10:28:43
有些电镜的样品台是可以倾斜角度的，可以做剖面的。
做光刻胶的电镜不一定需要喷金。
上海的话，交大有一个微纳加工的平台，肯定有。

谢谢回复！

你说的是交大AEMD平台吧~
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27楼2016-08-29 15:14:53
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adam_

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
25楼: Originally posted by babyoflion at 2016-08-29 12:42:12
上海的话不是很清楚，不过苏州纳米所有，也不是很远，如果是刚性基地的话，自己手动做一个截面用显微镜也可以的，我这边2um的线条我都是自己掰开后用显微镜测试的，也可以作为借鉴的，当然发文章还是要SEM的...

谢谢回复！

用显微镜拍2um很牛！，需要用100×的镜头了吧~

用显微镜看对样品的放置的角度苛刻吗
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28楼2016-08-29 15:17:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
27楼: Originally posted by adam_ at 2016-08-29 15:14:53
谢谢回复！

你说的是交大AEMD平台吧~...

对的，程秀兰那个。
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29楼2016-08-29 17:21:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
28楼: Originally posted by adam_ at 2016-08-29 15:17:22
谢谢回复！

用显微镜拍2um很牛！，需要用100×的镜头了吧~

用显微镜看对样品的放置的角度苛刻吗...

我们一天到晚用光学显微镜来拍剖面，2um还好了，能看见，清晰度一般。100x的镜头很普通的，国产的现在做的不错，又便宜。
你可以自己买一台国产的，厦门motic或者宁波宇舜，两万多。他们分公司或者代理可以带机器上门的，你拿样品直接看就可以检测机器性能了。
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30楼2016-08-29 17:25:05
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