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wanss

铁虫 (正式写手)

[求助] ellipsometer 是什么设备，在测试哪方面性质有用？ 已有2人参与

ellipsometer 是什么设备，在测试哪方面性质有用？
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1楼 2016-08-20 19:08:58
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
椭偏仪啊，测膜厚用的，通常用于半透明或者透明的薄膜，半导体工业非常常用，比如测光刻胶的厚度
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2楼2016-08-20 20:03:01
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长临河

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

椭偏仪，无损测试薄膜的 厚度 和折射率，比SEM准确方便。
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3楼2016-08-30 17:11:50
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