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wanss

铁虫 (正式写手)

[求助] ellipsometer 是什么设备,在测试哪方面性质有用? 已有2人参与

ellipsometer 是什么设备,在测试哪方面性质有用?
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
椭偏仪啊,测膜厚用的,通常用于半透明或者透明的薄膜,半导体工业非常常用,比如测光刻胶的厚度
2楼2016-08-20 20:03:01
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长临河

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

椭偏仪,无损测试薄膜的 厚度 和折射率,比SEM准确方便。
3楼2016-08-30 17:11:50
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