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panpan817924

金虫 (初入文坛)

[求助] 晶向不同的n型单晶硅片性质上有什么不同 已有1人参与

在一篇硅基红外探测器芯片的专利中规定n型单晶硅片为晶向(100)、(110)或(111)的n型单晶硅片,双面抛光。而另一篇和它特别相似的专利中没有限定n型单晶硅片的晶向。想请教各位大牛,晶向的不同导致硅片的性质上有何不同。使用这三种晶向的单晶硅片会有什么好处?
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
其实这个主要要求硅片能透红外就可以的,一般用高阻的双抛硅片
2楼2016-08-17 22:23:32
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panpan817924

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2016-08-17 22:23:32
其实这个主要要求硅片能透红外就可以的,一般用高阻的双抛硅片

这也就是说,晶向的不同不会影响探测器的灵敏度,是这个意思吗?望回复
3楼2016-08-18 08:39:26
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