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金虫 (初入文坛)

[求助] 晶向不同的n型单晶硅片性质上有什么不同已有1人参与

在一篇硅基红外探测器芯片的专利中规定n型单晶硅片为晶向（100）、（110）或（111）的n型单晶硅片，双面抛光。而另一篇和它特别相似的专利中没有限定n型单晶硅片的晶向。想请教各位大牛，晶向的不同导致硅片的性质上有何不同。使用这三种晶向的单晶硅片会有什么好处？

1楼 2016-08-17 17:26:15

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木虫 (小有名气)

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其实这个主要要求硅片能透红外就可以的，一般用高阻的双抛硅片

2楼2016-08-17 22:23:32

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金虫 (初入文坛)

引用回帖:

2楼: Originally posted by zjlenny at 2016-08-17 22:23:32
其实这个主要要求硅片能透红外就可以的，一般用高阻的双抛硅片

这也就是说，晶向的不同不会影响探测器的灵敏度，是这个意思吗？望回复

3楼2016-08-18 08:39:26

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