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WeightLoser

新虫 (初入文坛)

[求助] 射频磁控溅射没有膜层沉积 已有1人参与

一直用射频磁控溅射做膜,今天换了金属靶后,起辉都是正常的,可是衬底上却没有膜层的沉积。之前做金属非金属都很正常的。不知道各位虫友有没有遇到类似的问题的。感谢大家赐教。

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Gavin6152

金虫 (小有名气)

改变气压和增加功率试下呢,或者镀层颜色和衬底颜色相近,我以前镀过一次,肉眼看不出来镀上膜了,xrd测试却有

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3楼2016-08-14 09:06:42
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普通回帖

hyha

新虫 (正式写手)

准研一,老师给推荐和他专业相关的书是薄膜材料与薄膜技术。关于这个方向,楼主有没有什么要说的。

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2楼2016-08-14 08:26:10
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qinlilu_276

新虫 (小有名气)

楼主有做过检测吗?是在什么基体上镀的膜?正常情况纯金属膜用射频溅射应该是没有问题的

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4楼2016-08-14 09:54:06
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

延长时间试一下,应该是有点,可能比较薄,透明的看不到

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呼市虫子在深圳创造奇迹!
5楼2016-08-14 11:44:24
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
2楼: Originally posted by hyha at 2016-08-14 09:26:10
准研一,老师给推荐和他专业相关的书是薄膜材料与薄膜技术。关于这个方向,楼主有没有什么要说的。

这么多准研1的都来逛小木虫啊
准研1就这么努力!
6楼2016-08-14 14:20:35
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hyha

新虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by wbcui at 2016-08-14 14:20:35
这么多准研1的都来逛小木虫啊
准研1就这么努力!...

笨鸟先飞,

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7楼2016-08-14 14:22:46
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这种情况觉得不可思议,你真还要认真检查一下看是不是镀上了你没发现。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
8楼2016-08-15 10:37:32
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philips8808

铜虫 (小有名气)

做个台阶看看,是不是太薄或与基底颜色相近啊

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9楼2016-08-16 21:41:14
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

不知道楼主的设备,但是生产线上金属、非金属靶镀膜设备完全不同……

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10楼2016-08-16 22:44:56
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