| 查看: 149 | 回复: 1 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
unification金虫 (正式写手)
|
[交流]
Sodium pentasulfate (SPS)是个什么?哪里能买到？【有效期至11月21日】
|
||
|
Sodium pentasulfate (SPS)是个什么?中文名称，化学式，主要用途？ 哪里能买到？ [ Last edited by unification on 2008-11-15 at 11:22 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
推荐一本书
已经有12人回复
-
基金申报
已经有4人回复
-
计算机、0854电子信息（085401-058412）调剂
已经有4人回复
-
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？
已经有9人回复
-
溴的反应液脱色
已经有6人回复
-
纳米粒子粒径的测量
已经有7人回复
-
常年博士招收(双一流，工科)
已经有4人回复
-
参与限项
已经有5人回复
-
有没有人能给点建议
已经有5人回复
-
假如你的研究生提出不合理要求
已经有12人回复
happyboy2008-
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2171.8
- 散金: 100
- 帖子: 234
- 在线: 49.1小时
- 虫号: 410303
- 注册: 2007-06-23
- 专业: 色谱分析
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
unification(金币+10,VIP+0):谢谢
sanko211(金币-10,VIP+0):马甲行为，与楼主IP完全相同，请给出合理原因
sanko211(金币+10,VIP+0):返还金币，欢迎常来^_^
unification(金币+10,VIP+0):谢谢
sanko211(金币-10,VIP+0):马甲行为，与楼主IP完全相同，请给出合理原因
sanko211(金币+10,VIP+0):返还金币，欢迎常来^_^
|
Na2SO5 过一硫酸钠 过一硫酸 化学式：H2SO5（也可写成SO3·H2O2） 当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸（H2SO5）。H2SO5通常被称为卡罗酸,可以同H2O2反应得到OH●和HSO4●反应基。这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH●和HSO4●反应基之间的反应很弱。 当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸（H2SO5）。H2SO5通常被称为卡罗酸,可以同H2O2反应得到OH●和HSO4●反应基。这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH●和HSO4●反应基之间的反应很弱。 为了增进与非晶碳层之间的反应,一种方法是提高piranha混合物的温度。在本研究中,采用批量喷雾系统,晶圆表面的温度可以超过200℃。喷雾系统通过利用H2SO4与H2O2或水之间的混合放热反应,可以在晶圆表面获得更高的温度。根据采用的溶液浓度和喷洒速率,升温可高达100℃,并且整个流程都在一个完全封闭的反应腔中完成,因此很容易保持温度。 [ Last edited by happyboy2008- on 2008-11-14 at 23:10 ] |
2楼2008-11-14 22:22:53