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unification金虫 (正式写手)
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Sodium pentasulfate (SPS)是个什么?哪里能买到？【有效期至11月21日】
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Sodium pentasulfate (SPS)是个什么?中文名称，化学式，主要用途？ 哪里能买到？ [ Last edited by unification on 2008-11-15 at 11:22 ] |
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happyboy2008-
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unification(金币+10,VIP+0):谢谢
sanko211(金币-10,VIP+0):马甲行为，与楼主IP完全相同，请给出合理原因
sanko211(金币+10,VIP+0):返还金币，欢迎常来^_^
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Na2SO5 过一硫酸钠 过一硫酸 化学式：H2SO5（也可写成SO3·H2O2） 当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸（H2SO5）。H2SO5通常被称为卡罗酸,可以同H2O2反应得到OH●和HSO4●反应基。这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH●和HSO4●反应基之间的反应很弱。 当H2SO4与H2O2混合,生成过氧单硫酸（H2SO5）。H2SO5通常被称为卡罗酸,可以同H2O2反应得到OH●和HSO4●反应基。这些基团可以与光刻胶中的碳高分子链反应,最终生成CO和CO2 。采用现有的piranha流程,为了使反应充分进行并得到合适的去胶速率,需要将溶液加热到150℃。不幸的是,灰化时离子轰击光刻胶造成了去氢的非晶碳层,该层与OH●和HSO4●反应基之间的反应很弱。 为了增进与非晶碳层之间的反应,一种方法是提高piranha混合物的温度。在本研究中,采用批量喷雾系统,晶圆表面的温度可以超过200℃。喷雾系统通过利用H2SO4与H2O2或水之间的混合放热反应,可以在晶圆表面获得更高的温度。根据采用的溶液浓度和喷洒速率,升温可高达100℃,并且整个流程都在一个完全封闭的反应腔中完成,因此很容易保持温度。 [ Last edited by happyboy2008- on 2008-11-14 at 23:10 ] |
2楼2008-11-14 22:22:53
