| 查看: 1047 | 回复: 1 | |||
[求助]
请教如何在PMMA-A11约3um厚的PMMA上做EBL曝光？
|
|
如题，由于实验需要，必须要在尽量厚的PMMA上做pattern，现在选择在A11上，大概厚度为3um左右。 在进行EBL曝光时发现，样品很容易荷电，这应该是由于PMMA太厚，导电性太差所致。 请问有这方面经验的高手是如何处理这个问题的？不知道在表面喷一层碳再做EBL的可行性如何？ 跪求大神指导 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 PMMA专辑 |
» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有93人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
招生--河北大学26年秋季入学博士
已经有1人回复
-
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
2楼2018-10-30 13:12:47