| 查看: 976 | 回复: 1 | |||
[求助]
请教如何在PMMA-A11约3um厚的PMMA上做EBL曝光？
|
|
如题，由于实验需要，必须要在尽量厚的PMMA上做pattern，现在选择在A11上，大概厚度为3um左右。 在进行EBL曝光时发现，样品很容易荷电，这应该是由于PMMA太厚，导电性太差所致。 请问有这方面经验的高手是如何处理这个问题的？不知道在表面喷一层碳再做EBL的可行性如何？ 跪求大神指导 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 PMMA专辑 |
» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有178人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
2楼2018-10-30 13:12:47