| 查看: 1013 | 回复: 1 | |||
[求助]
请教如何在PMMA-A11约3um厚的PMMA上做EBL曝光？
|
|
如题，由于实验需要，必须要在尽量厚的PMMA上做pattern，现在选择在A11上，大概厚度为3um左右。 在进行EBL曝光时发现，样品很容易荷电，这应该是由于PMMA太厚，导电性太差所致。 请问有这方面经验的高手是如何处理这个问题的？不知道在表面喷一层碳再做EBL的可行性如何？ 跪求大神指导 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 PMMA专辑 |
» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有207人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
2楼2018-10-30 13:12:47
