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请教如何在PMMA-A11约3um厚的PMMA上做EBL曝光？
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如题，由于实验需要，必须要在尽量厚的PMMA上做pattern，现在选择在A11上，大概厚度为3um左右。 在进行EBL曝光时发现，样品很容易荷电，这应该是由于PMMA太厚，导电性太差所致。 请问有这方面经验的高手是如何处理这个问题的？不知道在表面喷一层碳再做EBL的可行性如何？ 跪求大神指导 |
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2楼2018-10-30 13:12:47
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