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关于pecvd的气体管道，有谁懂得吗？ 已有2人参与
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大家好，最近买了台国产pecvd，需要用到硅烷，但一般的管道不行，因为硅烷容易自燃。想问一下有相关经验的老师，你们当时怎么改造管道的，费用多少钱，谢谢！ 发自小木虫IOS客户端 |
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