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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于pecvd的气体管道，有谁懂得吗？
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babangida

铜虫 (正式写手)

[求助] 关于pecvd的气体管道，有谁懂得吗？ 已有2人参与

大家好，最近买了台国产pecvd，需要用到硅烷，但一般的管道不行，因为硅烷容易自燃。想问一下有相关经验的老师，你们当时怎么改造管道的，费用多少钱，谢谢！

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1楼 2016-07-29 09:29:53
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zf20060510

木虫 (小有名气)
危险特气都是使用双套管

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9楼2016-12-28 11:46:56
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用304不锈钢无缝管就可以。需要专门的专业厂商进行制作安装，价格按长度收费。
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2楼2016-07-29 10:51:48
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babangida

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-07-29 10:51:48
用304不锈钢无缝管就可以。需要专门的专业厂商进行制作安装，价格按长度收费。

谢谢，附件是我找的一个厂家的报价，他说要用双层管还有氮气保护气，一共要五万多，是不是太贵了？
关于pecvd的气体管道，有谁懂得吗？



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3楼2016-07-29 11:22:27
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kigeon

金虫 (正式写手)
感觉差不多吧，易燃易爆气源柜和保护气是要这些钱的。可以再找两家问报价看看。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2016-07-29 13:46:59
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