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hihxl1木虫 (正式写手)
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如何避免射频磁控溅射靶边缘位置的溅射 已有1人参与
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如题，采用射频磁控溅射的时候，如何控制保护罩与靶的距离，才能避免压靶的不锈钢环不发生起辉溅射。 目前靶头的状态是：不锈钢环压住靶材，不锈钢环距离保护罩的距离为3mm，而保护罩距离靶材的垂直距离约为8mm。是否能够通过进一步降低不锈钢环与保护罩的距离来避免或者减少不锈钢的溅射呢？ 另外，保护罩与金属环距离太近的话经常灭弧，提高通气量可否解决，可解决的原因是什么？ |
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