| 查看: 832 | 回复: 3 | ||
hihxl1木虫 (正式写手)
|
[求助]
如何避免射频磁控溅射靶边缘位置的溅射 已有1人参与
|
|
如题，采用射频磁控溅射的时候，如何控制保护罩与靶的距离，才能避免压靶的不锈钢环不发生起辉溅射。 目前靶头的状态是：不锈钢环压住靶材，不锈钢环距离保护罩的距离为3mm，而保护罩距离靶材的垂直距离约为8mm。是否能够通过进一步降低不锈钢环与保护罩的距离来避免或者减少不锈钢的溅射呢？ 另外，保护罩与金属环距离太近的话经常灭弧，提高通气量可否解决，可解决的原因是什么？ |
回复此楼» 猜你喜欢
体制内长辈说体制内绝大部分一辈子在底层，如同你们一样大部分普通教师忙且收入低
已经有7人回复
-
过年走亲戚时感受到了所开私家车的鄙视链
已经有9人回复
-
今年春晚有几个节目很不错，点赞！
已经有10人回复
-
情人节自我反思：在爱情中有过遗憾吗？
已经有10人回复
-
基金正文30页指的是报告正文还是整个申请书
已经有5人回复
2楼2016-07-27 18:33:34
3楼2016-07-27 18:40:51
su736808421
木虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 2662.3
- 帖子: 166
- 在线: 35.2小时
- 虫号: 1114599
- 注册: 2010-10-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
4楼2016-07-28 14:54:59