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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 原子、分子&光学 » 求助磁控溅射掺杂细节
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m452193160

新虫 (小有名气)

[求助] 求助磁控溅射掺杂细节

我在对氧化物（二氧化钒）进行掺杂，用共溅射的方法，掺铬，但是一直没有效果。希望做过的大神们能够指点。

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1楼 2016-07-27 08:18:26
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by m452193160 at 2016-07-27 20:27:05
有的，控制参数能让铬出来，但是最后方块电阻测量出一条直线，完全没有相变。。。
...

试过不同的比例了？

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4楼2016-07-28 06:52:15
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Friend007

银虫 (知名作家)
先确定铬有没有溅射产额

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2楼2016-07-27 18:43:49
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m452193160

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-07-27 18:43:49
先确定铬有没有溅射产额

有的，控制参数能让铬出来，但是最后方块电阻测量出一条直线，完全没有相变。。。

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3楼2016-07-27 20:27:05
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m452193160

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2016-07-28 06:52:15
试过不同的比例了？
...

目前只试过一个，但是我用的功率很低很低，按道理说应该不可能这样的。。。

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5楼2016-07-28 07:16:41
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