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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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m452193160

新虫 (小有名气)

[求助] 求助磁控溅射掺杂细节

我在对氧化物(二氧化钒)进行掺杂,用共溅射的方法,掺铬,但是一直没有效果。希望做过的大神们能够指点。

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m452193160

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-07-27 18:43:49
先确定铬有没有溅射产额

有的,控制参数能让铬出来,但是最后方块电阻测量出一条直线,完全没有相变。。。

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3楼2016-07-27 20:27:05
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Friend007

银虫 (知名作家)


先确定铬有没有溅射产额

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2楼2016-07-27 18:43:49
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Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
3楼: Originally posted by m452193160 at 2016-07-27 20:27:05
有的,控制参数能让铬出来,但是最后方块电阻测量出一条直线,完全没有相变。。。
...

试过不同的比例了?

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4楼2016-07-28 06:52:15
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m452193160

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2016-07-28 06:52:15
试过不同的比例了?
...

目前只试过一个,但是我用的功率很低很低,按道理说应该不可能这样的。。。

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5楼2016-07-28 07:16:41
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