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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 功能高分子 » 光刻胶的性能评价
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chrisvieri

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶的性能评价 已有1人参与

请问大家关于光刻胶的主要性能参数都有哪些，具体是怎么进行评价的？比如我在网上找到一些性能参数，如：感光度、分辨率、对比度、残膜率、涂布性、耐热性、粘附性、耐蚀性、粘度等等，但是我想知道这些参数具体是怎么测量的？我现在做出来了一些光刻胶，我想知道怎么测得以上各种参数？请高人指点，谢谢！
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1楼 2016-07-26 12:19:08
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Wsbgt789

新虫 (小有名气)
怎么做的

发自小木虫IOS客户端
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2楼2016-07-29 00:03:26
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龙影23

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
chrisvieri: 金币+10, ★★★很有帮助 2016-08-03 17:06:00
我是刚刚学习的，只知道个表面大概。
残膜率是测量曝光后的膜厚和显影后的膜厚，具体怎么算我也不知道。
耐热性是曝光单色片后刮膜做TG热重分析
粘度就直接用粘度计检测
还有用显微镜/分光色度仪 检测的不知道是什么了。
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3楼2016-08-01 11:25:34
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