24小时热门版块排行榜    

查看: 1226  |  回复: 2
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

chrisvieri

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶的性能评价 已有1人参与

请问大家关于光刻胶的主要性能参数都有哪些,具体是怎么进行评价的?比如我在网上找到一些性能参数,如:感光度、分辨率、对比度、残膜率、涂布性、耐热性、粘附性、耐蚀性、粘度等等,但是我想知道这些参数具体是怎么测量的?我现在做出来了一些光刻胶,我想知道怎么测得以上各种参数?请高人指点,谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

龙影23

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
chrisvieri: 金币+10, ★★★很有帮助 2016-08-03 17:06:00
我是刚刚学习的,只知道个表面大概。
残膜率是测量曝光后的膜厚和显影后的膜厚,具体怎么算我也不知道。
耐热性是曝光单色片后刮膜做TG热重分析
粘度就直接用粘度计检测
还有用显微镜/分光色度仪 检测的不知道是什么了。
3楼2016-08-01 11:25:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 3 个回答

Wsbgt789

新虫 (小有名气)

2楼2016-07-29 00:03:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见