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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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青春沦落在

新虫 (初入文坛)

[求助] 用su8胶进行光刻,如何判断过曝光和曝光不足?望大神指教 已有2人参与

用su8胶进行光刻,如何判断过曝光和曝光不足?望大神指教

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青春沦落在

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 648582818 at 2016-07-26 13:34:21
SU-8是曝光区域交联,显影时留下,未曝光区域会溶掉。。

看pattern边界就看的出来过曝光还是曝光不足撒。。

边界什么样算是过曝光?什么样算是曝光不足?

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3楼2016-07-26 14:36:11
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648582818

版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
SU-8是曝光区域交联,显影时留下,未曝光区域会溶掉。。

看pattern边界就看的出来过曝光还是曝光不足撒。。
2楼2016-07-26 13:34:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
显微镜下,一般过曝是边沿发黑,不足是边沿有亮边,前提是其他条件是正常的。这个和显影有关系,所以反过来可能就不成立了。
4楼2016-07-26 15:33:32
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