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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 用su8胶进行光刻，如何判断过曝光和曝光不足？望大神指教
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青春沦落在

新虫 (初入文坛)

[求助] 用su8胶进行光刻，如何判断过曝光和曝光不足？望大神指教 已有2人参与

用su8胶进行光刻，如何判断过曝光和曝光不足？望大神指教

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1楼 2016-07-25 14:01:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
显微镜下，一般过曝是边沿发黑，不足是边沿有亮边，前提是其他条件是正常的。这个和显影有关系，所以反过来可能就不成立了。
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4楼2016-07-26 15:33:32
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普通回帖

648582818

版主 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU-8是曝光区域交联，显影时留下，未曝光区域会溶掉。。

看pattern边界就看的出来过曝光还是曝光不足撒。。
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2楼2016-07-26 13:34:21
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青春沦落在

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 648582818 at 2016-07-26 13:34:21
SU-8是曝光区域交联，显影时留下，未曝光区域会溶掉。。

看pattern边界就看的出来过曝光还是曝光不足撒。。

边界什么样算是过曝光？什么样算是曝光不足？

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3楼2016-07-26 14:36:11
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