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huangjinyu

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射半导体金属氧化物薄膜如何掺金属好点?

想用磁控溅射法镀半导体金属氧化物薄膜~然后镀的同时再掺点金属~所掺的金属的量怎么控制才好呢?请各位大神指点~谢谢

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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
huangjinyu: 金币+1 2016-07-21 10:04:01
共溅射 你通过控制功率控制不同靶位的溅射速率

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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
2楼2016-07-20 08:54:47
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3楼2016-07-20 09:00:17
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Gavin6152

金虫 (小有名气)


huangjinyu: 金币+1 2016-07-20 09:58:29
4楼2016-07-20 09:05:32
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huangjinyu

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Gavin6152 at 2016-07-20 09:05:32
共溅射

那比例怎么控制呢

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5楼2016-07-20 09:57:43
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东东那个东

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by huangjinyu at 2016-07-20 09:57:43
那比例怎么控制呢
...

这个没有人能给您准确答案,同一款仪器都做不出来,需要自己去摸索
头疼
6楼2016-07-20 10:51:23
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Gavin6152

金虫 (小有名气)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
huangjinyu: 金币+1 2016-07-21 10:02:57
引用回帖:
5楼: Originally posted by huangjinyu at 2016-07-20 09:57:43
那比例怎么控制呢
...

通过改变两靶的功率控制成分

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7楼2016-07-20 16:24:11
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huangjinyu

新虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by Gavin6152 at 2016-07-20 16:24:11
通过改变两靶的功率控制成分
...

恩恩~谢谢

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8楼2016-07-21 10:03:10
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huangjinyu

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xpengpengx at 2016-07-20 08:54:47
共溅射 你通过控制功率控制不同靶位的溅射速率

恩~非常感谢

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9楼2016-07-21 10:04:19
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