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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 磁控溅射半导体金属氧化物薄膜如何掺金属好点？
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huangjinyu

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射半导体金属氧化物薄膜如何掺金属好点？

想用磁控溅射法镀半导体金属氧化物薄膜～然后镀的同时再掺点金属～所掺的金属的量怎么控制才好呢？请各位大神指点～谢谢

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薄膜制备与特性

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1楼 2016-07-20 08:45:19
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
huangjinyu: 金币+1 2016-07-21 10:04:01
共溅射 你通过控制功率控制不同靶位的溅射速率

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欢迎MO-TFT的虫友一起交流
2楼2016-07-20 08:54:47
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hnlj158
3楼2016-07-20 09:00:17
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Gavin6152

金虫 (小有名气)
★
huangjinyu: 金币+1 2016-07-20 09:58:29
共溅射

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4楼2016-07-20 09:05:32
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huangjinyu

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Gavin6152 at 2016-07-20 09:05:32
共溅射

那比例怎么控制呢

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5楼2016-07-20 09:57:43
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东东那个东

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by huangjinyu at 2016-07-20 09:57:43
那比例怎么控制呢
...

这个没有人能给您准确答案，同一款仪器都做不出来，需要自己去摸索
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头疼
6楼2016-07-20 10:51:23
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Gavin6152

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
huangjinyu: 金币+1 2016-07-21 10:02:57
引用回帖:
5楼: Originally posted by huangjinyu at 2016-07-20 09:57:43
那比例怎么控制呢
...

通过改变两靶的功率控制成分

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7楼2016-07-20 16:24:11
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huangjinyu

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by Gavin6152 at 2016-07-20 16:24:11
通过改变两靶的功率控制成分
...

恩恩～谢谢

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8楼2016-07-21 10:03:10
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huangjinyu

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xpengpengx at 2016-07-20 08:54:47
共溅射 你通过控制功率控制不同靶位的溅射速率

恩～非常感谢

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9楼2016-07-21 10:04:19
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