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zhaizihui

新虫 (小有名气)

[求助] 等离子体刻蚀 已有1人参与

请问有了解等离子体刻蚀方面的吗,我想问一下一个大概25微米厚的东西能刻穿吗
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2016-07-14 03:59:31
理论上,只要刻蚀的时间足够长,任何厚度的都可以刻穿。一般来说,等离子体刻蚀分化学刻蚀和物理刻蚀以及两者的结合。纯化学刻蚀一般速度较快,纯物理溅射刻蚀速度较慢。

我用的是氧气的气氛刻蚀,是不是物理和化学刻蚀都存在吧?
3楼2016-07-14 08:52:46
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zhaizihui: 金币+5 2016-07-14 08:48:11
理论上,只要刻蚀的时间足够长,任何厚度的都可以刻穿。一般来说,等离子体刻蚀分化学刻蚀和物理刻蚀以及两者的结合。纯化学刻蚀一般速度较快,纯物理溅射刻蚀速度较慢。
趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
2楼2016-07-14 03:59:31
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

引用回帖:
3楼: Originally posted by zhaizihui at 2016-07-14 01:52:46
我用的是氧气的气氛刻蚀,是不是物理和化学刻蚀都存在吧?...

在氧气气氛刻蚀什么物质啊?信息不全我无法判断!

如果加偏压的话,物理溅射刻蚀会更快!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
4楼2016-07-15 14:40:24
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by leongoall at 2016-07-15 14:40:24
在氧气气氛刻蚀什么物质啊?信息不全我无法判断!

如果加偏压的话,物理溅射刻蚀会更快!...

我刻蚀的是有机的聚合物膜材料 偏压是怎么加的?我那个仪器只看到气瓶那放了一块压力表我一般都调到0.1兆帕吧

发自小木虫IOS客户端
5楼2016-07-17 08:46:06
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