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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 等离子体刻蚀
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zhaizihui

新虫 (小有名气)

[求助] 等离子体刻蚀 已有1人参与

请问有了解等离子体刻蚀方面的吗，我想问一下一个大概25微米厚的东西能刻穿吗
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1楼 2016-07-11 15:31:00
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leongoall

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P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaizihui: 金币+5 2016-07-14 08:48:11
理论上，只要刻蚀的时间足够长，任何厚度的都可以刻穿。一般来说，等离子体刻蚀分化学刻蚀和物理刻蚀以及两者的结合。纯化学刻蚀一般速度较快，纯物理溅射刻蚀速度较慢。
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
2楼2016-07-14 03:59:31
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zhaizihui

新虫 (小有名气)
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2楼: Originally posted by leongoall at 2016-07-14 03:59:31
理论上，只要刻蚀的时间足够长，任何厚度的都可以刻穿。一般来说，等离子体刻蚀分化学刻蚀和物理刻蚀以及两者的结合。纯化学刻蚀一般速度较快，纯物理溅射刻蚀速度较慢。

我用的是氧气的气氛刻蚀，是不是物理和化学刻蚀都存在吧？
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3楼2016-07-14 08:52:46
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leongoall

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P-M-I之初生牛犊
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhaizihui at 2016-07-14 01:52:46
我用的是氧气的气氛刻蚀，是不是物理和化学刻蚀都存在吧？...

在氧气气氛刻蚀什么物质啊？信息不全我无法判断！

如果加偏压的话，物理溅射刻蚀会更快！
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zhaizihui
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
4楼2016-07-15 14:40:24
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zhaizihui

新虫 (小有名气)
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4楼: Originally posted by leongoall at 2016-07-15 14:40:24
在氧气气氛刻蚀什么物质啊？信息不全我无法判断！

如果加偏压的话，物理溅射刻蚀会更快！...

我刻蚀的是有机的聚合物膜材料 偏压是怎么加的？我那个仪器只看到气瓶那放了一块压力表我一般都调到0.1兆帕吧

发自小木虫IOS客户端
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5楼2016-07-17 08:46:06
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊
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5楼: Originally posted by zhaizihui at 2016-07-17 01:46:06
我刻蚀的是有机的聚合物膜材料 偏压是怎么加的？我那个仪器只看到气瓶那放了一块压力表我一般都调到0.1兆帕吧
...

我说的偏压是指在基底上加电压，而不是你说的气压！考虑到你的材料是聚合物膜材料，在氧气气氛下等离子体刻蚀应该本身就挺快，如果还要施加偏压也只能利用射频电源施加偏压。

不知道你等离子体的发生方式是什么？是利用射频放电产生的还是利用微波ECR产生的。
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
6楼2016-07-17 19:53:35
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zhaizihui

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by leongoall at 2016-07-17 19:53:35
我说的偏压是指在基底上加电压，而不是你说的气压！考虑到你的材料是聚合物膜材料，在氧气气氛下等离子体刻蚀应该本身就挺快，如果还要施加偏压也只能利用射频电源施加偏压。

不知道你等离子体的发生方式是什么 ...

是射频放电产生的，那台仪器也不知道哪里有加偏压的地方啊 你是指要自己进行改装吗？
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7楼2016-07-18 13:52:19
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leongoall

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P-M-I之初生牛犊
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7楼: Originally posted by zhaizihui at 2016-07-18 06:52:19
是射频放电产生的，那台仪器也不知道哪里有加偏压的地方啊 你是指要自己进行改装吗？...

呃，那可能太麻烦了，你先试试不加偏压的吧！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
8楼2016-07-19 16:27:55
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