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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 做OTFT顶栅底接触，在旋PMMA介电层发现金电极变成黑色，谁知道怎么回事阿？
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521826long

金虫 (小有名气)

[求助] 做OTFT顶栅底接触，在旋PMMA介电层发现金电极变成黑色，谁知道怎么回事阿？已有1人参与

做OTFT顶栅底接触，在旋PMMA介电层发现金电极变成黑色，谁知道怎么回事阿？谢谢大家的指点！！！
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1楼2016-07-03 23:08:23
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qingtianhua

新虫 (小有名气)
你的PMMA用的多大分子量？溶剂和浓度呢？

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2楼2016-09-14 16:37:00
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dizzy1011

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

完全没出现过这种现象，建议你做完金电极之后，用纯的溶剂实验一下，看看是溶剂的问题还是PMMA的问题。

如果金变黑，用电笔测试一下还有没有电性能，如果有，就说明不受影响， 可继续后续的制程。

以我的经验，应该不会是PMMA的问题。
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3楼2016-10-28 10:36:31
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嘻嘻哈哈糖

新虫 (初入文坛)
您好，我想问一下，源漏电极你是怎么样漏出来的

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4楼2017-04-27 10:47:04
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弓刀千骑

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 嘻嘻哈哈糖 at 2017-04-27 10:47:04
您好，我想问一下，源漏电极你是怎么样漏出来的

等离子处理可以刻蚀掉多余的部分

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5楼2018-01-22 01:33:07
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