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521826long

金虫 (小有名气)

[求助] 做OTFT顶栅底接触,在旋PMMA介电层发现金电极变成黑色,谁知道怎么回事阿? 已有1人参与

做OTFT顶栅底接触,在旋PMMA介电层发现金电极变成黑色,谁知道怎么回事阿?谢谢大家的指点!!!
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qingtianhua

新虫 (小有名气)

你的PMMA用的多大分子量?溶剂和浓度呢?

发自小木虫Android客户端
2楼2016-09-14 16:37:00
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dizzy1011

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

完全没出现过这种现象,建议你做完金电极之后,用纯的溶剂实验一下,看看是溶剂的问题还是PMMA的问题。

如果金变黑,用电笔测试一下还有没有电性能,如果有,就说明不受影响, 可继续后续的制程。

以我的经验,应该不会是PMMA的问题。
3楼2016-10-28 10:36:31
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嘻嘻哈哈糖

新虫 (初入文坛)

您好,我想问一下,源漏电极你是怎么样漏出来的

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4楼2017-04-27 10:47:04
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弓刀千骑

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 嘻嘻哈哈糖 at 2017-04-27 10:47:04
您好,我想问一下,源漏电极你是怎么样漏出来的

等离子处理可以刻蚀掉多余的部分

发自小木虫IOS客户端
5楼2018-01-22 01:33:07
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