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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 能实现ALD沉积的基底需要具备什么性质呢
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1032246407

木虫 (小有名气)

[求助] 能实现ALD沉积的基底需要具备什么性质呢 已有2人参与

哪些基底不能沉积
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1楼 2016-07-01 10:19:33
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m452193160

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by LDD. at 2016-11-30 11:37:32
你的基底选择需要考虑衬底的温度，一般都是根据你的前躯体温度来决定的。我们沉积氧化铝，一般衬底温度设置为150℃。另外，想问问楼主有木有做过ALD沉积固体粉末的呀

请问您这边是否能在硅上沉积氧化铝绝缘层？不知是否可以合作？

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7楼2017-03-06 22:12:25
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xdonqi

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ALD沉积时会对基地加热，所以你的衬底选择要有耐温的考虑
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如果想在秋天收获鸡肉卷，春天一定要记得播种，梦想一定也是这样！
2楼2016-07-02 12:14:34
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jjisticfdom
ald

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3楼2016-07-07 13:25:29
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黑狐1992

木虫 (小有名气)
就是耐高温吧，我们一般用硅片和玻璃

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4楼2016-07-14 11:40:42
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