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1032246407

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1860
帖子: 106
在线: 52.9小时
虫号: 1794081
注册: 2012-05-03
性别: GG
专业: 光学和光电子材料

[求助] 能实现ALD沉积的基底需要具备什么性质呢已有2人参与

哪些基底不能沉积

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1楼 2016-07-01 10:19:33

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

jjisticfdom

ald

发自小木虫Android客户端

3楼2016-07-07 13:25:29

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 8 个回答

xdonqi

铜虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 159.5
帖子: 26
在线: 24.5小时
虫号: 3046010
注册: 2014-03-13
性别: GG
专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

ALD沉积时会对基地加热，所以你的衬底选择要有耐温的考虑

赞一下(1人)

如果想在秋天收获鸡肉卷，春天一定要记得播种，梦想一定也是这样！

2楼2016-07-02 12:14:34

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

黑狐1992

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1782
红花: 1
帖子: 284
在线: 48小时
虫号: 2658257
注册: 2013-09-16
性别: GG
专业: 材料物理化学

就是耐高温吧，我们一般用硅片和玻璃

发自小木虫Android客户端

4楼2016-07-14 11:40:42

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

LDD.

银虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 728.5
帖子: 33
在线: 10.7小时
虫号: 3028357
注册: 2014-03-08
性别: MM
专业: 电化学

【答案】应助回帖

你的基底选择需要考虑衬底的温度，一般都是根据你的前躯体温度来决定的。我们沉积氧化铝，一般衬底温度设置为150℃。另外，想问问楼主有木有做过ALD沉积固体粉末的呀

Justbeyourself.

5楼2016-11-30 11:37:32

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