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guotao019

新虫 (著名写手)

[求助] 求助SEM测试结果该如何解释？？？

求大神指点！！！
如图：材料本身是SiC上磁控溅射的金属，一共三层，第一层是Ti(100nm, 熔点1668℃)，第二层是TaSi2(300nm,熔点2200℃),最顶层是Pt(200nm,熔点1768℃)。
磁控溅射完后表面SEM照片如“as-deposited.png”所示，看起来比较平整。
经过1000℃/3min的退火后表面情况如“annealed.png”所示，表面呈微米级的交错的棍棒状，还有纳米级的金属颗粒。受限于设备分辨率，照片不够清晰。
想问退火后的表面形成的原因，最好能推荐几篇类似的论文做理论支撑。
谢谢！

求助SEM测试结果该如何解释？？？
annealed.png


求助SEM测试结果该如何解释？？？-1
as-deposited.png@hwweven
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1楼 2016-06-29 17:30:56
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u200810983

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2016-06-30 08:41:19
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Yaopeng_li

金虫 (小有名气)
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发自小木虫IOS客户端
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3楼2023-06-07 07:01:03
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