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duanyue

银虫 (小有名气)

[求助] 介质膜应力的测试 已有1人参与

请问各位大侠:
    对于3英寸晶圆上沉积的介质膜如:氮化硅  或 氧化硅 应力的测试一般用什么机台? 如果用台阶仪测量的话,结果准确么?
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363913191

木虫 (著名写手)

2楼2016-06-29 14:12:00
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363913191

木虫 (著名写手)

3楼2016-06-29 14:12:28
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haoshihuang

铁杆木虫 (著名写手)

别梦依稀

【答案】应助回帖

你问的是氮化硅  或 氧化硅的应力,还是表面膜的应力?
另外, 台阶仪能测试应力???能否解答如何测试?
爱是因为你,美丽被还原!
4楼2016-07-03 16:45:32
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