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duanyue银虫 (小有名气)
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介质膜应力的测试 已有1人参与
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请问各位大侠: 对于3英寸晶圆上沉积的介质膜如:氮化硅 或 氧化硅 应力的测试一般用什么机台? 如果用台阶仪测量的话,结果准确么? |
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363913191
木虫 (著名写手)
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3楼2016-06-29 14:12:28
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4楼2016-07-03 16:45:32













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