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duanyue银虫 (小有名气)
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[求助]
介质膜应力的测试 已有1人参与
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请问各位大侠： 对于3英寸晶圆上沉积的介质膜如：氮化硅 或 氧化硅 应力的测试一般用什么机台？ 如果用台阶仪测量的话，结果准确么？ |
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木虫 (著名写手)
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2楼2016-06-29 14:12:00
haoshihuang
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