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chinadoy1s

铜虫 (初入文坛)

[交流] 作膜的看过来

请问Pt/Ti/SiO2/Si衬底是什么意思,怎么制备的?
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silveruranus

铁虫 (正式写手)

白金衬底,一般自己做不了,都是买的
2楼2008-11-08 09:47:04
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cxm377

银虫 (正式写手)

si衬底上一般用PECVD等CVD方法淀积SiO2thin film 然后用磁控溅射等pvd方法再生长一些金属层实现金属化
洗洗睡吧
3楼2008-11-08 14:24:49
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bluesky238

木虫 (正式写手)

一般是买的,实在不行就用电子束蒸发的方法在Si上做SiO2,然后做Ti层,然后做Pt层
4楼2008-11-09 12:55:39
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chinadoy1s

铜虫 (初入文坛)

为何做这么多层?

单组分基板不好吗,比如不锈钢、钛基板,或者硅基
5楼2008-11-10 18:46:29
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