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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】太阳能硅片清洗技术与工艺
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心动情愫

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】太阳能硅片清洗技术与工艺

各位专家级虫虫，本人是从事光伏太阳能硅片行业，目前主要是单晶硅片，这里想请教一下，单晶硅切片后，硅片的清洗工艺与技术，目前能达到的清洗合格率能有多少？有没有相关的资料或者文献？

[ Last edited by wuli8 on 2008-12-4 at 16:58 ]
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一PLMM问我：您帅吗？答：不是很帅。又问：您的写作很帅啊！答：只是境由心生。再问：那您的心一定很帅啦！答：其实，我本无心。
1楼 2008-11-07 17:51:47
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xcpy

是不是在问制绒后的硅片清洗工艺?呵呵,一般用氢氟酸,盐酸,氢氟酸加盐酸,盐酸加双氧水.
合格率:一般是目测,看表面状况
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9楼2009-04-25 11:15:30
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stardom427

木虫 (著名写手)
★ ★
FLY_Phoenix(金币+2,VIP+0):感谢积极交流
约10%的NaOH溶液加热到80度度左右,减薄120秒,即可...
如果还希望在硅片表面做金字塔绒面,,,配置的溶液稍微复杂点
什么叫合格不合格呢?你先给个标准?
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3楼2008-11-12 20:41:54
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
一般都合格，你可以这样说的。
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4楼2008-12-04 16:11:42
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昙英

木虫 (正式写手)
★
ddx-k(金币+1,VIP+0):你说的好像是微电子的工艺，太阳能的可没有这么严格。谢谢你提供的信息
我们的实践经验是：在纯水中加入超声波清洗或兆声清洗，无接触甩干，（至少1000级净化间内）才能实现“盒对盒”工艺要求！！！
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5楼2008-12-06 13:51:50
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