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心动情愫

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】太阳能硅片清洗技术与工艺

各位专家级虫虫,本人是从事光伏太阳能硅片行业,目前主要是单晶硅片,这里想请教一下,单晶硅切片后,硅片的清洗工艺与技术,目前能达到的清洗合格率能有多少?有没有相关的资料或者文献?

[ Last edited by wuli8 on 2008-12-4 at 16:58 ]
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一PLMM问我:您帅吗?答:不是很帅。又问:您的写作很帅啊!答:只是境由心生。再问:那您的心一定很帅啦!答:其实,我本无心。
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xinneng


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
对于太阳能行业单晶来说,目前没有对硅片清洗有专门的书。靠经验
10楼2009-06-01 16:06:46
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查看全部 16 个回答

stardom427

木虫 (著名写手)

★ ★
FLY_Phoenix(金币+2,VIP+0):感谢积极交流
约10%的NaOH溶液加热到80度度左右,减薄120秒,即可...
如果还希望在硅片表面做金字塔绒面,,,配置的溶液稍微复杂点
什么叫合格不合格呢?你先给个标准?
3楼2008-11-12 20:41:54
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

一般都合格,你可以这样说的。
4楼2008-12-04 16:11:42
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昙英

木虫 (正式写手)


ddx-k(金币+1,VIP+0):你说的好像是微电子的工艺,太阳能的可没有这么严格。谢谢你提供的信息
我们的实践经验是:在纯水中加入超声波清洗或兆声清洗,无接触甩干,(至少1000级净化间内)才能实现“盒对盒”工艺要求!!!
5楼2008-12-06 13:51:50
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