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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 铜的蒸镀困惑
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东东那个东

金虫 (正式写手)

[交流] 铜的蒸镀困惑

最近困惑两个问题，蒸镀铜以后得到一个很不错的镜面，但是用XRD检测，却是铜和其他物质的混合物，表面也是黄色的，现在发现问题
1、在实验中距离不同薄膜的厚度均匀度不同，想问一下蒸镀铜与基底的距离？
2、用氧化铝做坩埚，1180摄氏度与1300摄氏度都可以蒸镀铜，为什么前者在坩埚表面结晶呈红黄色  而后者发黑，但是目测1300摄氏度下黄的更亮一点。
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头疼
1楼 2016-06-24 16:53:10
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ppoaix

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 东东那个东 at 2017-10-18 14:47:41
我就是用钨丝直接加热，不是用电子束...

好的，谢谢，我的问题解决了~
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4楼2017-10-18 17:51:43
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ppoaix

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你好，我想问下楼主，你是用什么蒸镀的铜膜？热蒸发还是电子束蒸发？如果是电子束蒸发， 电子束的功率大概为多少？我最近也在用电子束蒸镀铜，但是发现沉积速率特别小。
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2楼2017-10-18 14:33:15
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东东那个东

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ppoaix at 2017-10-18 14:33:15
你好，我想问下楼主，你是用什么蒸镀的铜膜？热蒸发还是电子束蒸发？如果是电子束蒸发， 电子束的功率大概为多少？我最近也在用电子束蒸镀铜，但是发现沉积速率特别小。

我就是用钨丝直接加热，不是用电子束
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头疼
3楼2017-10-18 14:47:41
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