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铜的蒸镀困惑
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最近困惑两 个问题，蒸镀铜以后得到一个很不错的镜面，但是用XRD检测，却是铜和其他物质的混合物，表面也是黄色的，现在发现问题1、在实验中距离不同薄膜的厚度均匀度不同，想问一下蒸镀铜与基底的距离？ 2、用氧化铝做坩埚，1180摄氏度与1300摄氏度都可以蒸镀铜，为什么前者在坩埚表面结晶呈红黄色 而后者发黑，但是目测1300摄氏度下黄的更亮一点。 |
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 溅射和蒸镀简介 |
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