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铜的蒸镀困惑
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最近困惑两 个问题,蒸镀铜以后得到一个很不错的镜面,但是用XRD检测,却是铜和其他物质的混合物,表面也是黄色的,现在发现问题1、在实验中距离不同薄膜的厚度均匀度不同,想问一下蒸镀铜与基底的距离? 2、用氧化铝做坩埚,1180摄氏度与1300摄氏度都可以蒸镀铜,为什么前者在坩埚表面结晶呈红黄色 而后者发黑,但是目测1300摄氏度下黄的更亮一点。 ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
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溅射和蒸镀简介 |
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ppoaix
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个问题,蒸镀铜以后得到一个很不错的镜面,但是用XRD检测,却是铜和其他物质的混合物,表面也是黄色的,现在发现问题
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