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能否 基于电阻率跃变点来测试硅锭提纯工艺出成率?
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看到一篇发明专利,是关于简单检测 硅锭提纯出成率的,具体如下: “采用硅材料测试仪或电阻率测试仪测试硅锭电阻率,通过电阻率跃变点对应的硅锭高度除以硅锭总高度即得出硅锭提纯工艺的出成率。该方法高效便捷,可以随时随地进行检测分析,摆脱了实验室复杂的测试工序,提高了效率,仅需一台简单的硅材料测试仪或电阻率测试仪即可解决问题,对于定向提纯来说是一种行之有效的出成率测试手段。” 请问各位虫友大神,上述方法能够实施或有效?有没有类似的现有检测技术? |
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