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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ly2829

铁虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射掺杂时,用掺杂物质粘到主物质靶材上,是如何粘的? 已有5人参与

如题,有这么先进的方法,如何粘,镀的膜能保证没有杂质吗?
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learnwthink

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
为什么要粘?我们都是直接放在主靶材上的

发自小木虫Android客户端
每天一小步
2楼2016-06-15 00:04:27
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ly2829

铁虫 (小有名气)

直接放不掉下来了吗,靶是倾斜的啊
3楼2016-06-15 09:17:28
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GuiGoo

捐助贵宾 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个不是直接买掺好的靶材吗?不然怎么保证比例?

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-06-16 02:11:45
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boyshen

至尊木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不同的磁控溅射,靶材的摆放位置不一样,不能一概而论,简单的放在上面有两个问题,一个是导电性,一个是距离
5楼2016-06-16 09:00:48
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babyoflion

金虫 (著名写手)

直接放上去就行吧
6楼2016-06-16 12:59:28
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ly2829

铁虫 (小有名气)

有文章是说一个掺杂的金属圆片粘到靶材上,这样镀出的膜是掺杂的。
7楼2016-06-16 20:24:58
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liguojing

银虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by ly2829 at 2016-06-16 20:24:58
有文章是说一个掺杂的金属圆片粘到靶材上,这样镀出的膜是掺杂的。

求该篇文献
8楼2017-02-14 10:16:07
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